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1、
或l接近于零，瑞利距离Z0远大于透镜焦距时，能够获得较小的聚焦束腰。
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2、
在测量工件表面形貌时.压电陶瓷驱动器驱动聚焦物镜进行垂直位移.从而确保在每一个采样间隔中焦点总是落在工件表面上，同时使得聚焦误差信号回零。
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